PREFERRED TERM
فناوری باریکه یونی کانونیشده
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
RELATED CONCEPTS
SCOPE NOTE
-
حکاکی باریکه یونی کانونیشده
IN OTHER LANGUAGES
focused ion beam technology
English
focused ion beam etching
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0001506