PREFERRED TERM
نهشت بخار شیمیایی
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
NARROWER CONCEPTS
RELATED CONCEPTS
SCOPE NOTE
-
روشی برای پوششدهی سطح که در آن مواد شیمیایی ابتدا تبخیر میشوند و سپس بهکمک گاز حامل بیاثر بر روی سطح داغ نشانده میشوند.
IN OTHER LANGUAGES
chemical vapour deposition
English
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP000372