PREFERRED TERM
سنگنگاری با باریکه الکترون
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
NARROWER CONCEPTS
RELATED CONCEPTS
ENTRY TERMS
-
لیتوگرافی با باریکه الکترون
IN OTHER LANGUAGES
electron beam lithography
English
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0008844