PREFERRED TERM
electron beam lithography
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
NARROWER CONCEPTS
RELATED CONCEPTS
SCOPE NOTE
-
electron lithography
IN OTHER LANGUAGES
سنگنگاری با باریکه الکترون
Persian
لیتوگرافی با باریکه الکترون
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0008844