اصطلاح مرجح
مسطحسازی
نوع
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
مفهوم اعم
مفهومهای وابسته
اصطلاحهای نامرجح
-
مسطحسازی مکانیکی شیمیایی
در زبان های دیگر
planarization
English
chemical mechanical planarization
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0001672