اصطلاح مرجح
لایه مقاوم به الکترون
نوع
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
مفهوم اعم
مفهومهای وابسته
یادداشت دامنه
-
لایه مقاوم به باریکه الکترون
در زبان های دیگر
electron resist
English
electron beam resist
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0002889