اصطلاح مرجح
ریزالکترونیک خلاء
نوع
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
مفهومهای اخص
مفهومهای وابسته
اصطلاحهای نامرجح
-
ابزار خلاء مجتمع
در زبان های دیگر
vacuum microelectronics
English
integrated vacuum device
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP000395