اصطلاح مرجح
سنگنگاری با باریکه یونی
نوع
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
مفهوم اعم
مفهومهای وابسته
در زبان های دیگر
ion beam lithography
English
ion lithography
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/INSP0009152