PREFERRED TERM
سنگنگاری باریکه یونی
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
RELATED CONCEPTS
ENTRY TERMS
-
سنگنگاری یونی
IN OTHER LANGUAGES
ion beam lithography
English
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/EIT0007562