PREFERRED TERM
ion beam lithography
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
RELATED CONCEPTS
IN OTHER LANGUAGES
سنگنگاری باریکه یونی
Persian
سنگنگاری یونی
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/EIT0007562