PREFERRED TERM
plasma etching
TYPE
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
BROADER CONCEPT
RELATED CONCEPTS
IN OTHER LANGUAGES
حکاکی پلاسمایی
Persian
کندهکاری پلاسمایی خشک
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/EIT0012437