اصطلاح مرجح
electron beam lithography
نوع
-
http://www.irandoc.ac.ir/onto/irandoc-meta/Concept
مفهوم اعم
مفهومهای وابسته
در زبان های دیگر
سنگنگاری با باریکه الکترون
Persian
URI
http://www.irandoc.acir/onto/irandoc/EIT0007561