integrated circuit interconnection
اتصال داخلی مدار مجمتع
فلزپوشانی مدار مجتمع
integrated circuit metallization
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
فلزپوشانی افزار نیم‌رسانا
semiconductor device metallization
مسطح‌سازی
planarization
اطمینان‌پذیری مدار مجتمع
integrated circuit reliability
روکش فلزی
metallization
low-k dielectric thin film
لایه نازک دی‌الکتریکی کا-کم
مهاجرت الکتریکی
electromigration