integrated circuit interconnection
اتصال داخلی مدار مجمتع
فلزپوشانی مدار مجتمع
integrated circuit metallization
مسطح‌سازی مکانیکی شیمیایی
chemical mechanical planarization
planarization
مسطح‌سازی
پرداخت مکانیکی شیمیایی
chemical mechanical polishing
آمایش سطح
surface treatment
عارضه سطح
surface topography
dielectric thin film
لایه نازک دی‌الکتریکی