فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
electron beam resist
لایه مقاوم به الکترون
electron resist
لایه مقاوم به باریکه الکترون
لایه مقاوم به نور
photoresist
لایه مقاوم
resist
mask
ماسک
سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
electron beam lithography