فناوری باریکه یونی کانونی‌شده
focused ion beam technology
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
سونش
etching
فن نقش‌برگردانی
replica technique
ریزهمگذاری
microassembling
منبت
embossing
LIGA
لیگا
قالب‌گیری
moulding
ماشین‌کاری الکتروشیمیایی
electrochemical machining
ماشین‌کاری با باریکه لیزر
laser beam machining
micromachining
ریزماشین‌کاری
ماشین‌کاری
machining
افزار ریز-نورمکانیکی
micro-optomechanical device
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device