سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
electron beam lithography
X-ray lithography
سنگ‌نگاری پرتو ایکس
سنگ‌نگاری نوری
photolithography
اثر مجاورت (سنگ‌نگاری)
proximity effect (lithography)
lithography
سنگ‌نگاری
سنگ‌نگاری با باریکه یونی
ion beam lithography