افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
vibrations
ارتعاش
الکترونیک کم‌توان
low-power electronics
energy scavenging
energy harvesting
برداشت انرژی
تبدیل مستقیم انرژی
direct energy conversion
افزار فشاربرقی
piezoelectric device