micropump
ریزتلمبه
ریزسیال‌شناسی
microfluidics
موتور ایستابرقی
electrostatic motor
ریزحسگر
microsensor
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
افزار ایستابرقی
electrostatic device
فعالگر الکترومغناطیسی
electromagnetic actuator
ریزموقعیت‌یابی
micropositioning
فعالگر ایستابرقی
electrostatic actuator
microactuator
ریزفعالگر
فعالگر الکتریکی
electric actuator
ریزرله
microrelay
ریزدریچه
microvalve
ریزدست‌ماشینی
micromanipulator
ریزروبات
microrobot