سونش کندوپاشی
alternative label: آر.آی.ای
alternative label: RIE @en
broader: سونش
broader: کندوپاش
type: Concept
preferred label: sputter etching @en
scope note: آر.آی.ای
scope note: RIE @en
related: فراوری مواد پلاسما

سونش
preferred label: etching @en
type: Concept
narrower: سونش کندوپاشی

کندوپاش
preferred label: sputtering @en
type: Concept
narrower: سونش کندوپاشی

فراوری مواد پلاسما
preferred label: plasma materials processing @en
type: Concept
related: سونش کندوپاشی