سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
electron beam lithography
لایه مقاوم
resist
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
mask
ماسک
لایه مقاوم به نور
photoresist
لایه مقاوم به الکترون
electron resist
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
لایه مقاوم به باریکه الکترون
electron beam resist