سنگ‌نگاری فرابنفش
ultraviolet lithography
لایه مقاوم
resist
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
سنگ‌نگاری نوری
photolithography
سنگ‌نگاری غوطه‌‌وری
immersion lithography
مدار چاپی
printed circuit
پوشانش چرخشی
spin coating
photoresist
لایه مقاوم به نور
لایه مقاوم به الکترون
electron resist
رتیکول
reticles
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
لایه مقاوم به پرتو ایکس
X-ray resist