ریزفعالگر
microactuator
micropump
ریزتلمبه
تجهیزات واپایش الکتروپنوماتیک
electropneumatic control equipment
microreactor
ریزرآکتور
افزار سیالی
fluidic device
نانوسیال‌شناسی
nanofluidics
ریزدریچه
microvalve
واپایش شارش
flow control
آزمایشگاه روی یک تراشه
lab-on-a-chip
ریزسیال‌شناسی
microfluidics
سیال‌شناسی
fluidics
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
micro-fluidics
شارش ریزکانالی
microchannel flow