سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
electron beam lithography
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
سنگ‌نگاری نوری
photolithography
phase shifting mask
ماسک تغییرکننده فاز
mask
ماسک
لایه مقاوم به نور
photoresist
رتیکول
reticles