ریزفعالگر
microactuator
واپایش نیرو
force control
واپایش موقعیت
position control
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
دست‌ماشینی
manipulator
ریزروبات
microrobot
microgripper
micromanipulator
ریزدست‌ماشینی