ساخت نوری
optical fabrication
آبکاری
electroplating
ریزماشین‌کاری
micromachining
شکل‌دهی الکتریکی
electroforming
LIGA
لیگا
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
X-ray lithography
سنگ‌نگاری پرتو ایکس