مکاترونیک
mechatronics
افزار ریزمکانیکی
micromechanical device
microsystem
تشدیدگر ریزمکانیکی
micromechanical resonator
ریزماشین‌کاری
micromachining
فعالگر الکتریکی
electric actuator
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
ریزسوده
microswitche
micropump
ریزتلمبه
ماشین الکتریکی کوچک
small electric machine
ریزدریچه
microvalve
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
ریزموتور
micromotor
ریزفعالگر
microactuator
ریزنورشناسی
micro-optics
تراگذار
transducer
ریزسیال‌شناسی
microfluidics
برداشت انرژی
energy harvesting
افزار حس الکتریکی
electric sensing device
حسگر فشار
pressure sensor
نانوفناوری
nanotechnology
ریزحسگر
microsensor
LIGA
لیگا
افزار ریز-نورمکانیکی
micro-optomechanical device
ریزروبات
microrobot
افزار نانوالکترومکانیکی
nanoelectromechanical device
ریزدست‌ماشینی
micromanipulator
تیر بازویی
cantilever
مدار مجتمع یکپارچه
monolithic integrated circuit