سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
preferred label: electron beam lithography @en
type: Concept
related: رتیکول

فناوری مدار مجتمع
preferred label: integrated circuit technology @en
type: Concept
related: رتیکول

سنگ‌نگاری نوری
preferred label: photolithography @en
type: Concept
related: رتیکول

ماسک تغییرکننده فاز
preferred label: phase shifting mask @en
type: Concept
related: رتیکول

ماسک
preferred label: mask @en
type: Concept
narrower: رتیکول

لایه مقاوم به نور
preferred label: photoresist @en
type: Concept
related: رتیکول

رتیکول
broader: ماسک
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
related: لایه مقاوم به نور
related: ماسک تغییرکننده فاز
related: فناوری مدار مجتمع
related: سنگ‌نگاری نوری
type: Concept
preferred label: reticles @en