لیتوگرافی با باریکه الکترون
electron beam lithography
سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
electron lithography
فناوری مدار مجتمع
integrated circuit technology
lithography
سنگ‌نگاری
اثر مجاورت (سنگ‌نگاری)
proximity effect (lithography)
کاربرد باریکه الکترون
electron beam application
لایه مقاوم به الکترون
electron resist
فناوری نیم‌رسانا
semiconductor technology
رتیکول
reticles
نانوسنگ‌نگاری
nanolithography