سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
alternative label: لیتوگرافی با باریکه الکترون
broader: سنگ‌نگاری
broader: کاربرد باریکه الکترون
related: اثر مجاورت (سنگ‌نگاری)
related: فناوری مدار مجتمع
related: فناوری نیم‌رسانا
related: رتیکول
related: نانوسنگ‌نگاری
type: Concept
preferred label: electron beam lithography @en
scope note: electron lithography @en
narrower: لایه مقاوم به الکترون

فناوری مدار مجتمع
preferred label: integrated circuit technology @en
type: Concept
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

سنگ‌نگاری
preferred label: lithography @en
type: Concept
narrower: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

اثر مجاورت (سنگ‌نگاری)
preferred label: proximity effect (lithography) @en
type: Concept
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

کاربرد باریکه الکترون
preferred label: electron beam application @en
type: Concept
narrower: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

لایه مقاوم به الکترون
preferred label: electron resist @en
type: Concept
broader: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

فناوری نیم‌رسانا
preferred label: semiconductor technology @en
type: Concept
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

رتیکول
preferred label: reticles @en
type: Concept
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

نانوسنگ‌نگاری
preferred label: nanolithography @en
type: Concept
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون