باریکه الکترون
type: Concept
preferred label: electron beam @en
related: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون

سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
type: Concept
broader: سنگ‌نگاری
preferred label: electron beam lithography @en
related: باریکه الکترون

سنگ‌نگاری
type: Concept
narrower: سنگ‌نگاری با باریکه الکترون
preferred label: lithography @en