برآرایی فاز بخار
vapor phase epitaxy
رشد همبافته
epitaxial growth
برآرایی پرتو شیمیایی
chemical beam epitaxy
برآرایی فاز بخار آلی‌فلزی
metallorganic vapor phase epitaxy
برآرایی باریکه مولکولی
molecular beam epitaxy
نهشت ‌بخار شیمیایی
chemical vapor deposition
رونشست فاز بخار