وسیله‏ای برای تجزیۀ شیمیایی که در آن از باریکۀ بسیار متمرکزی از الکترون برای برانگیختن و گسیل پرتوهای ایکس از نقطه‏ای انتخابی در نمونۀ مشخصی استفاده شود؛ ترکیب شیمیایی نمونه را از روی بیناب پرتوهای ایکس معین می‏کنند
ریزکاو الکترونی
electron microprobe